Вакуумная система электронно-лучевых установок
К вакуумной системе относят камеру, откачные насосы, коммутирующие элементы и
приборы измерения давления.
Камера предназначена для размещения свариваемого
изделия н механизмов его закрепления и перемещения. Наибольшее распространение
получили прямоугольные и цилиндрические конструкции камер. В прямоугольных
камерах полнее использован полезный объем — удобнее располагать узлы и
механизмы. Их наиболее рационально применять в унифицированных
электронно-лучевых установках.
Цилиндрические камеры проще в изготовлении и более жесткие. Чаще всего их используют в специализированных электронно-лучевых установках. Размеры специализированных камер в основном определяются размерами свариваемого изделия.
Свариваемые изделия в камеру устанавливаются либо через люки, либо с помощью выдвижной тележки, смонтированной на одной из крышек камеры.
Наряду с однокамерными электронно-лучевыми установками применяют и многокамерные. В многокамерных установках между рабочей камерой и камерой для электронной пушки размещен ряд промежуточных камер. Все они имеют дифференцированную откачку. В многокамерных ЭЛУ в рабочей камере создается относительно невысокий вакуум (10—10-1 Па). Это несколько упрощает требования к конструкции рабочей камеры, технологии ее изготовления и условиям эксплуатации.
Получают распространение и местные камеры для электронно-лучевой сварки. Их устанавливают непосредственно на свариваемое изделие. Как правило, они отличаются небольшими размерами и предназначены только для размещения передвижной электронной пушки. Основные трудности, возникающие при изготовлении и эксплуатации передвижных камер, связаны с созданием надежного уплотнения между камерой и поверхностью свариваемого изделия.
Вакуумные насосы предназначены для создания и поддержания вакуума в рабочей камере, в камере электронной пушки и промежуточных камерах. Применяют насосы двух типов: низковакуумные (форвакуумные) и высоковакуумные. Низковакуумные насосы необходимы для создания предварительного разрежения в камере примерно до остаточного давления 1—10-1 Па. Наибольшее распространение в ЭЛУ получили механические насосы с масляным уплотнением подача насосов 6—500 л/с (при давлении 0,1 МПа).
Высоковакуумные насосы или агрегаты применяют для создания в камере остаточного давления 10-1—10~7 Па. Наибольшее распространение в ЭЛУ получили паромасляные высоковакуумные агрегаты типа ВА. Они надежно работают при откачке в диапазоне давлений 10-1-—10-4 Па и имеют производительность 25—4000 л/с. Для создания в камере высокого и сверхвысокого безмасляного вакуума применяют сорбционные насосы. Их основной недостаток — низкая производительность.
